本文在研究精密和超精密加工技术的发展对直线度误差分离技术所提出的新要求的基础上，定量分析了传感器初始对准误差、忽略摆角误差和传感器漂移特性差异在时域和频域直线度误差分离方法中造成的误差，同时指出了频域方法中权系数对测量误差的放大作用。

介绍了一种结构简单 ,但性能稳定、精度高的电感传感器。并介绍了操作方便、置信度高、可用于短工件测量的直线度空间域的组合测量方法。利用它们进行超精密直线度测量 ,具有良好的效果。