平面平晶工作面平面度的测量是平面度测量中最重要的测量之一,但目前对于平面平晶工作面平面度测量结果的不确定度评定却是仁者见仁、众说不一。因为此评定过程需要运用实际测量数据,下面以Φ100mm平面平晶工作面平面度的测量结果为例进行不确定度评定。

本文对采用磁性测量法、涡流测量法和超声波测量法的五类测厚仪进行了较为详尽的介绍,并对其校准方法进行了比较分析。