建立了一套基于数据采集的MEMS薄膜材料参数在线测试系统．该系统包括测试图形，测试信号处理电路及外围附件和专用软件，能自动完成薄膜材料参数的在线测试．测试方法和测试设备简单，能用于工艺线上的在线测试．