本文提出了一种图形化的即时可重构虚拟仪器软件平台IsVIP，它采用开放的组件化体系结构，提供了硬件设备控制台和软件控件2类扩展点，能够实现对任意硬件设备的支持，以及实现任意的软件功能；采用数据流驱动的工作方式，多条数据流可以并行工作；虚拟仪器的功能通过控件以及控件间的连线实现，控件和连线能够在运行时增加或者删除，并立即见效，进而影响仪器系统的人机界面和运行逻辑；支持流水线执行模式，能够以串行结构实现并行效率，具有更高的吞吐率，能够处理更高负荷的数据处理请求。

动态测试对MEMS的设计、制造和可靠性具有非常重要的意义.提出了快速高精度的综合亚像素定位匹配算法,应用于MEMS平面运动测量.该综合算法把标准化协方差相关法、亚像素步长相关法、曲面拟合法、序惯相似性检测算法和单纯形法有机结合,综合运用各算法的优点,达到了提高亚像素定位速度和精度的目的.通过位移测量实验和对硅微陀螺仪质量块面内振动及谐振频率的测量,验证了该综合算法的可行性和有效性.

为使MEMS(micro electro mechanical system)三维静动态测试自动可靠地进行,基于测试系统的测量原理及其精确同步控制要求,提出了相应的计算机同步控制方法.详细讨论了同步控制的设计实现及关键技术.通过对压力传感器膜和硅微陀螺仪的静动态测试,验证了同步控制的准确性和可靠性.