平面度是评定产品质量的指标之一。随着测量技术的不断进步,影像测量仪被广泛应用于平面度的测量。采用最小二乘法的算法原理,编写平面度误差评定程序并将其嵌入影像测量仪软件中,对影像测量仪自动测量的数据进行处理。实验结果表明：该算法能够快速评定平面度误差,在生产实际应用中效果较好。