对扫描电镜测量微米级长度的不确定度进行了评定.对引起不确定度性的许多因素,如扫描电镜的分辨率、测量的重复性以及标尺的标定误差等作了分析和计算,特别对输入变量相关时的合成问题作了研究.最后得到了S-4200型扫描电镜微米级测量长度的扩展的不确定度.

本文介绍了测量不确定度的几种验证方法，并且给出了在材料试验机校准结果和金属材料拉伸试验检测结果测量不确定度评定验证的应用实例。