一种新型三维MEMS电容式矢量水听器研制
介绍了一种基于MEMS工艺设计的电容式矢量水听器。该矢量水听器的检测单元包括一个“三明治”结构敏感芯片和一个采用变送集成技术的信号调理电路。通过优化敏感芯片的结构和低噪声的信号调理电路,使矢量水听器得到很高的灵敏度、分辨率。利用MEMS微机械加工工艺制作出矢量水听器,检测单元相互正交并进行了声学灌封。矢量水听器完成了水下驻波场测试,测试结果表明:该矢量水听器的接收灵敏度在1000Hz时达到一180dB(0dBre1V/μPa),动态范围大于120dB。
矢量水听器在时反水声通信中的应用研究
利用声压与振速垂直分量的弱相关性,将矢量水听器声压与振速垂直分量通道进行时反处理。仿真和试验都表明,此种处理方法可有效降低水声通信的误码率。
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