基于CAN（控制器局域网）总线的现代测控技术可以提高低温等离子体设备自动控制的实时性、可靠性和可扩展性。针对典型低温等离子体设备实验平台,通过设计制作的智能节点和带有CAN接口卡的PC机建立起了1个基于CAN总线的低温等离子体设备系统,详细介绍了影响该系统实时性的2个关键问题。实验结果表明,该系统可以稳定可靠工作、可以实现对重要参数的自动稳定控制,驱动频率在20～60 Hz之内,真空度上下波动量为9 Pa.