设计水平和垂直方向两种驱动形式MEMS（micro-electro-mechanical system）惯性开关，应用ANSYSIO．0有限元软件对其中的镍质微弹簧结构进行实体建模和动力学模拟分析，得到其在动载荷下的应力分布情况和端部位移响应曲线，并比较静动载荷下结构参数对微弹簧水平和垂直方向上弹性常数（klevel和kvertic）的影响规律。文中的有限元动力学分析方法为较准确地评定类似MEMS微弹簧弹性常数提供一条有效途径，具有工程实际应用价值，特别是为动载荷下工作的惯性类微器件中弹簧的进一步优化与加工提供重要依据。

介绍了实现微流体的精确定量和快速混合的基本方法,设计并制作了采用基于PDMS通道的微流体器件.

在弯曲梁电热微驱动器原理的基础上，通过引入热膨胀系数更大的聚合物，提出了一种新型复合结构电热微驱动器。采用了ANSYS有限元分析软件，对其基本结构形式进行了系统的仿真分析，得到了一组初步优化的器件结构参数。仿真结果表明：新型电热微驱动器有更低的能耗和更大的位移。采用非硅表面微加工技术，成功制备了新型复合结构电热微驱动器。