基于微分法的新相位测量轮廓术
在相位测量轮廓术中,为了得到真实相位值,必须进行相位解包裹处理的繁琐过程, 为此提出一种可以直接获得真实相位值的新算法。这种算法的原理是空域中的微分(一阶) 等效于频域中乘以一个线形因子,由此得到相位微分与光强的关系,求出相位的微分值后将其积分就获得相位的真实值。计算机仿真显示该方法确实有效可行。
CCD的积分抽样特性对傅里叶变换轮廓术的影响
在傅里叶测量轮廓术中,由于CCD探测器积分离散抽样效应,将对相位的求解造成较大误差,通过理论的推导定性地解释了误差的来由,并用计算机进行了模拟计算,最后提出了减小误差的方法。
余弦变换三维物体轮廓术的改进
利用余弦变换获取三维物体面形的技术已得到了应用。但该技术在测量高度梯度(垂直光栅方向)变化率较大的物体时会产生误差,高度梯度变化率大到某一值时,将不再合适。为此采用余弦光栅能较好地解决这一问题,它可将测量范围扩大到原来的3倍。从理论上证明了将物体高度变化率大一面朝光栅放置,可以进一步拓宽余弦变换法的测量范围,以文中的系统为例,其扩大倍数可达到原来的57倍,远大于3倍。
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