在微机械结构设计中常用有限元方法进行仿真,然而,通用的三维有限元仿真算法在进行有限元分析时耗时较长,影响了仿真效率。针对常规MEMS工艺仅有二维成形能力的特征,提出了将二维多重网格方法融入条件共轭梯度法的预处理的方法。并以一种＂三明治＂式微加速度计的ANSYS模态分析为具体算例,提出了用多重网格思想对网点分布进行插值以求在不太提高条件数的情况下提高对这类低频非局部振型的模态分析问题的求解精度的二维预处理算法。所提出的多重网络的网络划分预处理算法将预处理前后的同精度分析计算时间由206 min减少到38 min,但相对精度从0.018%降低到了0.038%。这种算法可用于二维成形结构的静力分析和模态分析并提高设计效率。

针对加速度计精密离心机试验，提出了一种改进的D最优试验设计方法。首先，分析了加速度计在精密离心机测试时的实际量测噪声特性，在此基础上指出传统的优化设计方法，即饱和D最优试验设计，存在工程适用性问题。然后为了改善饱和D最优试验设计的适用性，并且考虑到试验代价和精度的折中关系，提出了D最优改进试验设计方案。该方案将饱和D最优试验谱点作为基本谱点，在基本谱点之间均匀插入其他谱点来降低输入加速度偏差的影响，并通过加权的方法来分配基本谱点和新增谱点的测度，权值的选取依据实际的噪声特性。最后仿真结果表明，该设计方法包含了饱和D最优设计和均匀设计的优点，能够给出更为合理的加速度计精密离心机试验方案设计。

给出了在转台上标定石英挠性加速度计的正交双表测试方法。分析了转台误差源对加速度计误差模型辨识的影响，建立了g^2观测法的辨识模型，并在转台上进行了20位置试验。试验结果表明：正交双表法可以降低设备转角误差对加速度计模型参数估计结果的影响，从而显著提高加速度计测试精度。