提出一种带有杠杆机构的电容检测微型加速度计。通过外来加速度使质量块经杠杆将力放大施加到弹性粱上产生位移、改变检测电容间距得到与加速度成比例的电压信号，从而测出加速度大小。研究表明：这种加速度计的灵敏度可明显提高。同时采用有限元方法进行了仿真模拟，结果显示系统测量范围可达100g、工作模态固有频率为209036Hz。

试验研究了UV-LIGA各工艺环节（包括前后烘、曝光、显影、去胶、电铸等）对金属基片上制造金属微结构器件质量的影响，并组合优化了操作条件和工艺参数。试验结果表明：采用优化后的UV—LIGA工艺条件，制造出的金属微结构器件（如微齿轮、微流道）轮廓清晰，表面质量好，无明显缺陷，与基底结合良好。