阐述了用内标法在扫描电子显微镜上测定固体颗粒直径的方法﹑实验﹑计算方法和测量不确定度评估。并通过对测量不确定度评估的讨论,认为用内标法在扫描电子显微镜上测量微小物质长度是一种操作方便,可以获得较小的测量不确定度的方法。

本文通过各种标准物质样品在原子力显微镜上的实验性测试,对涉及原子力显微镜放大倍率校准的相关的标准物质、图像非线性、图像畸变、针尖效应的问题进行了探讨,并认为原子力显微镜在针尖效应还没有解决前,进行带有一定置信水平的不确定度的放大倍率校准还尚难实施.

本文报告了用有证标准粒子研制成紧密排列的亚微米标准样品,并给出了研制成的标准样品的不确定度评估.将结果与国际先进的标准参考物质进行了分析比较.该亚微米标准粒子的紧密排列的标准样品在扫描电子显微镜和原子力显微镜放大倍率校准中有实际的应用价值.

本文从纳米测量的标准化文件、标准物质、测量不确定度的评定三个方面简述了有关纳米长度测量方法的标准化概况及国内外的进展。