对MTS810电液伺服材料试验机在位移控制和载荷控制两种控制方式下的动力学响应特性进行了研究。以岩石压缩测试数据为例对载荷-时间曲线、位移-时间曲线进行了对比分析发现岩石破坏过程中位移控制方式下可以观察到岩石的局部损伤至破坏的演化过程载荷在岩石破坏时刻突然降为0;而载荷控制方式下看不到损伤演化过程载荷未突然降为0。说明试验机本身的结构响应会影响对试样力学性能的测试。

采用体硅微机械加工技术和扩散技术,制作压阻式高量程微加速度计,设计量程为50000gn.芯片材料为单晶硅,采用双列扁平陶瓷封装.为了测量其动态灵敏度,使用Hopkinson杆在约40000gn的加速度水平下进行了冲击校准.在电桥电压为6.33V的情况下,被测微加速度计的灵敏度为1.26μV/gn.

研制微力学测试仪,对微电子机械系统中键合结构的强度进行测试.最大载荷为1.4 N,在载荷量程为450 mN时仪器的最高分辨力为10 μN.采用键合在玻璃基底上的硅悬臂梁作为试样.为模拟横力剪切破坏和扭转破坏工况,用微力学测试仪分别在悬臂梁的固定端和自由端施加载荷至试样破坏.测得相应的破坏载荷并计算出最大剪应力.对破坏残骸的显微观察发现,存在玻璃开裂和硅开裂2种失效模式.该技术为微电子机械系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)键合结构的强度表征提供一种有效方法,并可用来进行微悬臂梁或微桥的强度测试.