将激光扫描共聚焦显微镜与实验力学中的云纹法相结合,提出了激光扫描共聚焦显微镜云纹法并对其进行了实验研究.实验中以激光扫描共聚焦显微镜的扫描线作为虚拟参考栅,以1 200 lines/mm的全息光栅作为试件栅,这两组栅线相干涉形成云纹条纹.对激光扫描共聚焦显微镜中云纹的形成原理和出现条件进行了讨论,对实验结果与理论分析进行了比较.结果表明,激光扫描共聚焦显微镜云纹法是真实可行的.由于该方法无需干涉系统且对测量环境无特殊要求,因此有望在待测物体表面微米量级变形观察和测量上得到应用.

在扫描探针纳米加工技术的基础上,提出了利用原子力显微镜（AFM）来制作高频光栅的新工艺.利用AFM硅制探针,在接触模式下对光盘（聚碳酸酯材料）进行刻划试验.对刻划光栅的工艺参数进行优化,得到了纳米量级光栅.并将刻划所得光栅应用于数字云纹法,与数字参考栅干涉形成微/纳米数字云纹.实验结果表明,该法所制得的光栅可以应用于实际变形的测量.