电容式微加工超声传感器（cMUT）是近年来出现的新型器件，具有高灵敏度、频带宽和机电转换效率高等优点，大有取代传统的压电式超声传感器之势．介绍了cMUT的基本结构和工作原理，提出了一种新型传感器结构．针对此结构建立了两个有限元模型，通过对其中的一个三维模型进行模态分析得知，cMUT可工作在一阶频率处，其振动频率为4．582MHz；利用另一个三维模型进行静态和谐波分析，得出传感器的塌陷电压为213V，当对cMUT施加45V直流偏置电压和1．6V交流电压时，其谐振频率为4．147MHz，薄膜的最大位移为0．447μm．

介绍了主动式活塞液体流量标准装置的原理和特点，详细阐述了采用光电开关实现活塞位移测量的方法，并分析了采用光电开关实现位移测量的优越性。