提出了一种干涉相位差与检偏器方位角成线性关系的新型微分干涉显微镜,利用相移干涉技术,可定量测量样品的表面形貌及粗糙度参数,系统的垂直和横向分辨率分别为1nm和0.5μm。

应用有限元法对原子力显微镜（ＡＦＭ）力传感器进行了力学分析，并讨论了它的固有频率和力弹性常数。在此基础上，对力传感器基于减小应力和应力集中的原则提出了一百分比工了可以作为力传感器设计的依据和原则。

原子力显微镜已成为人们观测和研究物体微观世界的强有力工具，由悬臂梁与探针集成件组成的力传感器是原子力显微镜的一个关键部件，它的结构和性能直接影响原子力显微镜的性能、测量分辨率和测试图象质量。本文着重介绍了原子力显微镜基本工作原理、对力传感器的要求、力传感器的结构和设计、力传感器的微机械加工以及其主要性能测试等问题。

分析了现有的ＡＦＭ力传感器的工艺特点及问题，在此基础上研究用ＫＯＨ溶液两步法Ｐ＋自停止腐蚀制作厚度精确可控的单昌硅悬梁；以ＳｉＯ２为掩模，ＳＦ６刻蚀硅，用ＲＩＥ与各向同性湿法化学腐蚀相结合使悬臂梁探针一次成形和用湿法腐蚀锐化探铁，针尖关径经５０ｎｍ。

着重介绍原子力显微镜力传感器的要求和力传感器设计的有关问题，并提供一种用图表设计结构尺寸的方法。