MEMS微拾振器制备工艺研究
采用微机电系统(MEMS)技术制作了悬臂梁式压电微拾振器,该技术主要包括:sol-gel法制备PZT压电膜、干法刻蚀、湿法化学刻蚀、UV-LIGA等工艺。研制的拾振器悬臂梁结构尺寸为:长2000μm,宽600μm,硅膜厚度12μm,PZT压电膜厚1.5μm,Ni质量块长600μm、高500μm。测试表明其固有频率为610Hz,适合低频振动源环境的应用。在1gn加速度谐振激励下,电压输出达562mV。
MEMS微拾振器制备的工艺研究
采用微机电系统(MEMS)技术制作了悬臂梁式压电微拾振器,该技术主要包括:sol-gel法制备PZT压电膜、干法刻蚀、湿法化学刻蚀、UV-LIGA等工艺。研制的拾振器悬臂梁结构尺寸为:长2000μm,宽600μm,硅膜厚度12μm,PZT压电膜厚1.5μm,Ni质量块长600μm、高500μm。测试表明其固有频率为610Hz,适合低频振动源环境的应用。在1gn加速度谐振激励下,电压输出达562mV。
几种液压自动换向机构的分析与比较
介绍了机动-液控、机动-电控、液控、电控几种液压自动换向机构;并对各个机构的原理进行分析。通过比较,得出这几种自动换向机构的优、缺点及相应的应用场合。机动换向原理简单,但元件分散、可靠性差等缺点使其应用受限;液控换向结... 展开更多
YZ-45型液压机机架的有限元模型设计及优化
作为YZ-45型液压机的关键部件为了提高其机架的强度和可靠性设计采用钢丝预紧结构.首先阐述了钢丝预应力机架疲劳强度高于非预应力机架的原理并在此基础上做了设计采用三维造型软件做了精确的建模并做了较详细的有限元静力学分析证实了设计的机架无论预紧还是工作时都安全.但发现机身承受的压应力较大且分布不均匀所以对初步模型做了优化设计对半圆梁和固定工作台的结构做了改进且除立柱(35CrMo)外半圆梁的材料换用ZG310-570H其余部件改用45钢并做了有限元分析.分析结果表明:机架预紧和工作时最大应力分别较原设计减少了41.87%和66.2%所以机身的安全性更高成本更低且研究成果已生产出相关设备并运行良好为实际制造加工提供了参考依据.
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