针对F-P干涉仪分析连续激光调制光谱的局限性，本文提出了一种基于光拍频的连续激光调制光谱的测量方法，该方法可实现调制频率低达千赫兹的连续激光调制光谱的测量。本方法以光电转换理论为基础，利用频谱分析仪测得参考光与连续调制光谱的拍频信号，然后通过相应的数学计算得到连续调制光谱的各个光频的相对电场强度，从而实现连续调制光谱的分析。本文在理论建模与分析的基础上，利用该方法对半导体激光器出射激光经电光调制器调制产生的调制光谱进行了测量，测量结果与F-P干涉仪测量结果一致，验证了该方法的可行性。

介绍了一种基于微电子机械系统（MEMS）技术的阵列微喷的加工和实验结果。利用微细加工技术，在硅片上制作了上千个直径够5～20μm的微喷孔阵列。该微喷以压电效应为驱动方式，通过压电片振动所产生的压力使液体从微喷孔中喷出。具有所产生的液滴直径和速度分布集中，无热效应的特点。采用激光相位-多普勒粒子分析（PDPA）系统对不同工作条件下液滴的直径和速度进行了研究。

介绍了一种基于MEMS技术的雾化微喷的设计、仿真、加工和实验结果.该微喷以压电效应为驱动方式,通过压电片振动所产生的压力使液体从阵列微喷孔中喷出,所产生的液滴直径和速度分布集中,无热效应,不会破坏药液的物理和化学特性.通过有限元仿真分析了微喷液体腔内压力波的分布,并根据仿真结果优化了微喷孔的布置.实验结果表明,该微喷所产生的液滴平均直径15μm,平均速度3m/s.

采用降阶建模法对多晶硅/氮化硅复合悬臂梁静电致动器的多物理场耦合问题进行了仿真计算.悬臂梁在氮化硅残余应力的作用下弯曲翘起.在微梁和基底间施加电压后,微梁受到向下电场力的作用,当电压超过阈值后微梁就会被吸到基底上.通过提取系统的各阶模态及其对系统的贡献,对各阶模态进行组合来取代该结构的耦合域,从而达到对耦合问题降阶的目的.采用该方法算得微梁的翘起高度、1阶固有频率和吸下的阈值电压与实验测得的结果吻合较好.

微流体实验技术的研究是微流体器件发展的迫切需要,它不仅可以提供测量微流体器件性能必备的工具,而且对于探索微观尺度流体的传输机制具有极为重要的意义.文章对微流体实验技术的难点进行了概括,并对几种主要的微流体实验技术进行了讨论,指出流动显示技术由于对流动本身的干扰非常小,而且在一些研究人员的努力下精度得到不断提高,已经成为一种最有潜力的微流体实验技术.