高压气体润滑方式在超精密领域得到了广泛应用。传统的气压源存在供气量少或稳定性差的缺点，难以满足当前气体静压节流器所需的高压力稳定度的气源要求，为此采用二级串联控制方法以及模糊PID算法设计了一种仪用高稳定度气压源系统。首先对该系统的软、硬件设计方案进行了简单介绍，其次对气压源整体性能进行了相关实验。实验结果表明：当气体流量在0～15L／min范围时，该系统可获得高稳定的气体压力，且相对误差小于1．14％。

为了提高分析矩形止推气浮轴承静态性能的精确度,利用有限差分法对雷诺方程进行了求解.据此,对双U形止推轴承和双圆形止推轴承中两个均压槽之间的耦合关系进行了分析,并利用所设计的装置分别对这两种气浮轴承的承载力理论结果进行了试验验证.研究结果表明：双U形止推轴承中均压槽之间的耦合关系随着气压的增加而增强,双圆形止推轴承中的均压槽之间的耦合关系相对稳定,其强度不会随着外界条件的改变而改变;双U形止推轴承承载力要强于双圆形止推气浮轴承;有限差分法所得出的承载力与试验结果具有较好的一致性,其最大的相对误差分别为12％,13.3％.证明了该方法对矩形止推气浮轴承进行静态性能分析的有效性.

超精密测量对环境振动要求非常严格，其仪器设备中多安装隔振装置。针对课题组圆度仪中使用的仪用小型空气弹簧隔振台，采用理论方法研究其固有频率。首先简化隔振台振动模型，根据该隔振台中约束式膜式空气弹簧的特定结构及相关理论，建立单个空气弹簧数学计算模型，获得单个空气弹簧刚度特性与其垂向变形量x的关系式，最终求得隔振系统的固有频率；同时利用压电式加速度传感器设计振动测试试验，对采集到的加速度信号进行预处理、积分运算、频谱分析，获得该系统的固有频率，两者对比，误差不超过10％，达到预期研究目标。为理论上研究该隔振平台的隔振性能及其耦合振动情况提供理论基础，也对其他类似结构的空气弹簧刚度特性的计算有一定参考意义。