根据液压伺服控制的工作原理,设计了电液伺服控制系统。系统的人机交互界面采用图形化编程工具LabWindows/CVI编写,系统的控制算法采用Ziegler-Nichols整定PID控制方法,经过对根轨迹寻优以及参数的微调,得到最优PID参数,并对系统进行MatLab仿真,证明该系统控制效果良好。

采用磁控溅射法在200℃Si（100）基体上交替沉积WSx和类金刚石碳膜（DLC）制备不同调制比的DLC／WSx多层膜（周期为10nm）。利用扫描电镜（SEM）、能谱仪（EDS）、X射线衍射仪（XRD）、X射线光电子谱（XPS）等手段分析调制比对多层膜成分、微观结构及界面的影响。利用薄膜应力测试仪、纳米压痕仪、涂层附着力划痕仪和球盘式摩擦磨损试验机等测试多层膜的力学性能及大气中的摩擦磨损性能。结果表明：DLC／WSx多层膜结构致密而平整，界面强化效应明显，膜中WSx均为非晶结构。随着调制比增大，多层膜的n（S）/n（W）由0．77增大至1．08，硬度先降低后升高，膜内压应力逐渐减小，结合力先增大后减小，摩擦因数由0．307降至0.171，磨损率逐渐上升。调制比为1：39的多层膜性能最优，硬度可达11.4GPa，磨损率低至1.17×10^15m3N^-1m^-1，显著优于纯WSx薄膜的。

对叶片泵材料的磨损失效进行了分析和研究.根据金相组织和硬度分析结果,认为两叶片泵的结构尺寸和工作环境介质对材料的磨损失效形式有很大影响,从材料角度考虑,建议适当提高叶片硬度和氮化层深度,有利于叶片泵的耐磨性和使用寿命.