近年来,基于压电陶瓷驱动的微小型液压泵逐渐开始受到广泛的关注和研究.由于体积重量小、结构简单、能耗低、无电磁干扰等优点,压电泵已经在航空航天、微机电系统等工程领域得到越来越多的应用.主要对国内外压电泵相关的研究进行了概述.首先对压电材料物理特性进行了简要说明,重点介绍了压电泵工作原理、研究意义及当前国内外的研究现状.最后对压电泵的关键技术进行总结,并提出今后的研究方向.

研究了一种基于液压原理的微位移放大器，微小位移可通过液压放大可转化为具有实际应用价值的输出位移。对微位移放大器的动态特性进行了建模分析，将放大机构与压电叠堆执行器相耦合，得到了该微位移放大器系统的传递函数。讨论了两个弹簧刚度k1和k2对响应频率和放大倍数的影响，为实际设计研究提供理论支持。