表面光电压法是表征半导体材料特性的一种重要方法。文中介绍了表面光电压谱测试系统的硬件结构,给出了利用VC＋＋6.0进行编程来设计表面光电压谱测试系统软件,从而实现表面光电压谱信号的采集与显示的具体方法。最后给出了用该仪器对GaAs材料的表面光电压谱进行测试和分析的结果。

为了监控GaAs光电阴极的制备过程,设计了一套应用CAN总线的GaAs光电阴极制备测控系统,系统由USB-CAN转换器、多信息量测控设备和计算机等组成,可在线实时测试阴极制备过程中的光电流、真空度和铯(氧)源电流信息,或由计算机控制铯(氧)源电流的大小和通断。该系统具有结构简单、可靠性和性价比高的特点,具有良好的应用前景。