针对入射光能量为高斯分布时，位敏探测器（PSD）安装倾斜影响光斑定位的问题，建立了光斑定位畸变误差数学模型，并进行了仿真。仿真结果表明，光斑定位畸变误差随着PSD倾斜角度、高斯光束的束腰半径和与光束束腰之间的距离的增加而增加，其中前两项的变化对PSD光斑定位精度的影响在小范围内可以忽略，最后一项影响较大。所建立的光斑定位畸变误差模型及仿真结果为PSD的实际工程应用提供了有效的理论依据。

提出热源法、离散近似法和有限元数值求解法3种PSD动态响应建模方法.对3种典型扫描轨迹仿真,得到不同时刻下光生电流值.结果表明,3种仿真结果完全吻合,有限元数值求解法比热源法适用范围广,比离散近似法具有方法简单、精度高等特点.