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激光测角干涉仪角位移信息传输特性及侧量动态范围研究

作者: 马国欣 邹海兴 沈育志 来源:光学仪器 日期: 2023-10-11 人气:26
激光测角干涉仪角位移信息传输特性及侧量动态范围研究
本文讨论了激光角度测量干涉仪的角位移信息传输特性、导出其解析表达式并进行了计算机模拟计算。最后、文章研究了干涉仪的测量动态范围。

20倍数显式投影仪

作者: 沈育志 马宏 来源:半导体光电 日期: 2023-08-22 人气:8
20倍数显式投影仪
介绍了一种应用光学投影放大和光栅尺莫尔条纹测长技术的数字显示式光学投影仪,使用此仪器可对直径50mm、长度500mm以内的呼种复杂的轴类或丝杆类零件,进行非接触测量。仪器不但可以检测零件的局部形状误差,而且还可以测量零件的径向尺寸和轴向尺寸,其测量误差均小于±0.01mm。
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