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一种微机械陀螺仪仿真分析

作者: 杨晓波 李德胜 刘本东 杨建坤 来源:仪器仪表学报 日期: 2022-12-16 人气:14
一种微机械陀螺仪仿真分析
根据微机械陀螺仪的灵敏度公式要使它具有高灵敏度,它的驱动模态固有频率和检测模态的固有频率应尽量接近.本研究通过CoventorWare软件中的系统模块进行建模、仿真、分析,改变陀螺仪的结构参数,使它的固有频率接近,达到优化设计目的.
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