论文给出了零动态刚度被动减振系统的理论分析，论证了基于零动态刚度原理和利用被动减振的方法，可实现低频频率范围内的减振。采用虚拟样机技术，利用ADAMS仿真软件对其垂直方向的振动特性进行了研究，仿真结果表明：当系统的振动幅值为0．5mm和10mm时，减振系统动态刚度大大减小，使得系统的等效固有频率降低到在0～0．5Hz范围内，从而实现了低频减振且减振效果良好。同时在实现系统的零动态刚度情况下，其静态刚度值不变，从而保证减振系统的稳定性。

根据IC制造、超精密加工等行业的需求,研发了能够用于超精密定位系统的两维大范围、宽平台精密定位系统。根据宽平台高速运动的要求,对大跨度平台的受力变形进行了理论分析,并对系统结构的静态和动态特性进行了有限元分析。在理论研究的基础上研发了精密定位系统。所开发的系统能够保证在设计载荷下,对于承载面积为250mm×250mm的承载台上任意一点都能够在300mm×300mm范围内任意点进行精密定位。