1 ST98热扩散式气体质量流量计工作原理 11 ST98传感器工作原理 ST98是以热扩散技术为基础的气体质量流量计。传感元件包括两个带热套管保护的电阻式温度探测器(铂RTD),这两个RTD被置于流体中,其中一个RTD被加热,另一个则用于感应过程温度,如图1所示。气体的流动将被加热的RTD上的热量带走,造成两个RTD之间的温差与气体流速成比例变化。其关系为: