在分析现有纳米三坐标测量机主体结构的基础上，提出了一种新型的四面对称式桥架结构，并利用ANSYS对主体结构进行分析与对比，从而证明了该结构的优越性。

介绍了一种新型纳米三坐标测量机Z轴的结构设计.提出了两级驱动式结构,即通过粗动与微动相结合的驱动方式实现纳米级精度.第一级粗动,采用2个NANOMOTION LS4系列大行程纳米电机从两侧同时驱动,克服了单侧驱动的不利因素,使得机构运行时更加稳定;第二级微动,采用压电陶瓷驱动,通过柔性铰链位移缩小结构将位移分辨率提高到1 nm.计算和分析表明,这种新型的两级驱动式结构可以满足纳米三坐标测量机Z向测量高精度、大行程要求.

主要分析了新型纳米三坐标测量机主体结构的动态特性，包括结构的振动特性以及结构的振动响应，其目的是为分析和评定纳米测量机的动态精度做准备．通过建立振动模型并利用ANSYS对此结构进行模态分析以及谐响应分析，从而得到此结构的固有频率、振型以及在纳米电机的激励下结构的位移、应力,同时对龙门式和拱形式测量机结构进行了动态分析与对比，从而证明了这种新型四面对称式桥架在保证纳米三坐标动态测量精度上的优越性．