介绍了压电陶瓷微位移器的工作原理，在此基础上提出了一种用由立式接触式干涉仪改造的电脑接触式干涉仪测量微位移特性的方法。其完善的测试软件系统，实现了对压电陶瓷微位移量的自动化、智能化精密测量。并对自行设计的压电陶瓷微位移装置进行了测试，得出电压－位移的关系曲线和迟滞曲线，精度和重复性值达０．０１μｍ。

追踪分析世界上表面微观形貌检测方面显微干涉检测原理的最新进展，比较干涉显微镜用于检测表面微观形貌时具有的形式，结构特点，分析选型研制干涉显微镜可能遇到的问题及应该研究的方面。

根据时域移相算法的概念,提出了一种空间移相术,它能够检测因外界振动导致条纹抖动而引起的干涉图样的空间相位变化.运用这种技术在Twyman-Green移相式干涉仪中建立了一套自适应抗振系统,它可以实时测量振动引起的相位变化大小,并通过反馈器件PZT实时校正干涉条纹的相位,使得干涉条纹稳定以保证光学测量的正常进行,与此同时PZT还作为移相器件.

三平板剪切干涉仪是环路剪仪中最简单的一种，它具有基本等光程、剪切量连续可调、两出身光束恒相互平等等特点。利用三平板剪切干涉仪对激光器出射波面质量进行检测，探讨了由剪切干涉图复原原始波面的1阶微分法，编制了专家辅助软件系统，为光机型的三科板剪切干涉仪配置了实时图像采集、处理系统、实现了光、机、电、算相结合，融硬、软件于一体的数字波面剪切干涉仪，并通过实验验证了方法的重复性精度。

本文提出了压电晶体（ＰＺＴ）位移物曲线自动干涉测量方法，该方法利用干涉仪把ＰＺＴ的微位移量转化成干涉条纹相位变化量，通过快速傅里叶变换（ＦＦＴ）方法自动复原干涉条纹中包含的相位的变化量，从而高精度地检测出ＰＺＴ的位移特性曲线根据该方法，利用ＣＣＤ摄象机、图象板和干涉仪组合成一套光、机、电一体化的微位移自动测试系统，实际测量了我们研制的ＰＺＴ随电压变化的位移特性曲线实验表明，该方法原理实现简单，且能实现高精度、自动。