根据生产过程中除湿机性能散布发生的情况,分析中发现毛细管内表面粗糙度有差异,为了分析粗糙度对性能的影响度;又由于常规氮气流量测试不能准确反映粗糙度的变化,故模拟小型制冷系统毛细管两端冷媒状态,搭建R22毛细管流量测量试验台。通过此实验台对相同规格不同内壁粗糙度的毛细管进行流量测试,其结果对比除湿机性能试验结果,从而分析毛细管内表面粗糙度对除湿机性能的影响。

针对钢管常规测量切斜方法的可操作性与测量精度存在一定的局限性，设计出一款新型钢管管端切斜测量尺。新型测量尺用千分尺代替了塞尺，安装有水平调节装置，千分尺镶嵌在滑轨中，可在主尺上上下滑移，因此具有使用灵活方便，测量精度高等特点，可用于实际测量。

针对微机电系统微执行器输出位移小,不能满足实际工作需要的问题,设计了一种微型柔性杠杆位移放大机构,并用有限元方法对放大倍数及影响因素进行了分析.该机构不含任何旋转部件,利用单晶硅微梁的弹性变形来实现微位移的放大,采用深层反应离子刻蚀技术将整个机构制作在硅隔离衬底上,并把它置于40%的HF溶液中使其成功释放.对集成加工在同一衬底上的电热微执行器进行了性能测试,测试结果表明,在没有优化的条件下,加工的两级微型杠杆机构在14 V工作电压下的放大倍数为18.9倍,输出位移达到36 μm,测试结果与仿真结果相吻合.

根据生产过程中除湿机性能散布发生的情况,分析中发现毛细管内表面粗糙度有差异,为了分析粗糙度对性能的影响度;又由于常规氮气流量测试不能准确反映粗糙度的变化,故模拟小型制冷系统毛细管两端冷媒状态,搭建R22毛细管流量测量试验台。通过此实验台对相同规格不同内壁粗糙度的毛细管进行流量测试,其结果对比除湿机性能试验结果,从而分析毛细管内表面粗糙度对除湿机性能的影响。

为了提高微机电系统中微执行器的作用距离，设计了一种全硅结构的微型柔性力位移传动机构，用于放大微执行器的输出位移。建立了传动机构的简化力学模型和有限元模型，并对机构性能的影响因素进行了分析。用深层反应离子刻蚀工艺在硅隔离衬底上成功制备了电热微执行器-微型柔性传动机构样机，并进行测试。结果表明，柔性力-位移传动机构能够有效地放大微执行器的输出位移，实测放大倍数达到18．9，可以极大地扩展微机电系统微执行器的应用范围。