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体硅加工的压电式微加速度计的设计

作者: 杨慧 李伟红 郭航 来源:传感技术学报 日期: 2023-06-05 人气:25
体硅加工的压电式微加速度计的设计
提出并设计了一种采用体硅微制造工艺制造的压电式微加速度计,其中体硅加工的硅质量块由悬臂梁支撑且悬臂梁部分区域沉积ZnO压电薄膜。通过对压电悬臂梁建立一维解析模型,研究了影响加速度计灵敏度的结构因素。在此基础上,利用有限元方法软件ANSYS设计了实际的微加速度计,并对六种不同的微加速度计结构进行了分析,得到了不同结构微加速度计的工作频率范围及灵敏度结果。

用于微小型化铷原子钟的MEMS Rb-85滤光泡的研究

作者: 郭航 王盛贵 来源:传感技术学报 日期: 2022-07-23 人气:9
用于微小型化铷原子钟的MEMS Rb-85滤光泡的研究
研究并提出一种分析设计Rb气泡原子钟微型Rb-85滤光泡的方法。从量子物理出发,通过为Rb灯的发射光谱引入Lorentzian线形函数,得到一个滤光泡内的光强与入射光强的关系式,其中包含了跃迁系数,频移,谱线宽度等参数,通过研究确定这些参数并最终建立一个具有高吸收效率的滤光泡的理论模型。基于这种方法,我们设计了MEMS滤光泡,Rb-87灯射出的光谱经过该滤光泡后,90%多的α线被吸收,而β线则只衰减不到3%,因此,MEMS滤光泡不仅可以大幅度减小体积与功耗,其滤光效果也更为优越。

某SUV后视镜镜臂气动噪声试验

作者: 刘海军 孙富强 吴杨 来源:河北大学学报(自然科学版) 日期: 2022-04-17 人气:113
汽车在高速行驶(速度超过100 km/h)时,气动噪声对车内噪声环境影响起主导作用.因此,对车外噪声源的控制显得尤为重要.采用试验的方法,研究了后视镜的镜臂不同长度参数对车内噪声环境影响的变化规律,推导出后视镜镜臂参数与车内声能量、语言清晰度呈对数变化规律,且响度呈现出非线性变化规律,得到了后视镜镜臂长度参数控制在40~50 mm,声压级减小0.6 dB(A)约0.5%,语言清晰度提高5.4%,AI相对贡献9%~14%,响度降低0.5~0.6宋,相对贡献1.7%~2.1%.初步获得后视镜镜臂长度参数的控制技术,改善了车内的噪声环境,提高了车内的声品质.
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