采用降阶建摸为静电梳齿驱动执行器开发了一个二维有限元模型，将梳齿驱动器简化为一组等价的集总参数单元，各单元均体现了对应器件的静动态特性和输入输出特性，降阶得到的模型降低了计算的复杂程度，提高了计算的速度．对采用降阶模型法所建立的模型仿真，得出梳齿驱动执行器的驱动位移、静电力与结构参数和所施加电压关系的仿真结果．该方法能以较快的速度求解静电一结构耦合问题，所得结果与有限元解相比较，最大位移误筹小于5％．