该文介绍了静电谐波微电机的基本工作原理。通过分析系统中存在的静电结构耦合关系,并进行离散化处理,建立了结构场和静电场的有限元耦合平衡方程。讨论了静电场和结构场之间存在的耦合条件和各场的边界条件。由结点映射推导出位移和力在两物理场交界面上传递的表达式。总结了静电-结构耦合问题的迭代求解框图和详细步骤。通过对系统的有限元仿真,得到了柔轮的径向位移分布及其随系统参数的变化规律。所得的结果为进一步研究微电机的性能提供了依据。