恒压式气体微流量计测控系统的设计
介绍了恒压式气体微流量计的测量原理及其测控系统的设计方案,对压力测量、变容室气体温度测量、变容室体积变化率测量、恒压控制等关键技术进行了详细说明。该测控系统的应用可以使气体微流量计的测量范围和不确定度均优于设计指标。
恒压式气体微流量计的性能测试
介绍了恒压式气体微流量计的组成及性能实验.实验结果表明,气体流量的测量范围为(2.96×10-9~4.76×10-4)Pa·m3/s,不确定度小于4%.标准漏孔的校准结果与德国PTB校准结果的一致性好于1.3%.
基于LabVIEW的气体微流量测量虚拟仪器的开发
运用LabVIEW6.1开发了用于气体微流量测量的虚拟仪器,阐明了该虚拟仪器的硬件结构、软件设计思想和具体实现,结合实验数据对不确定度进行了分析.该系统具有测量精度高、界面友好、运行稳定可靠、功能便于扩展等特点.
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