多媒体液晶投影机中的光学薄膜
简单介绍了液晶投影机中的光学薄膜,重点介绍了其中的偏振分色、合色等薄膜。
基于光谱型白光干涉仪的绝对距离测试研究
采用微型光纤光谱仪记录宽波段(450~900nm)下的光谱干涉图,提出一种解包络线的方法来提取相位主值,同时由总光程差与棱镜折射率成正比的关系进行相位解包裹.由线性关系的斜率和截距分别求解得到棱镜的等效厚度和两参考镜之间的绝对距离.利用该方法测试了参考镜在不同位置处的距离,结果与千分尺数值之间的偏差小于1%,同时获得了99.9%的线性度.还测试了BK7玻璃的厚度,与其他方法相比,其精度达0.21%.分析了影响测试精度的因素,并对测距范围进行了讨论.
用于450~750nm波长区的金属-介质消偏振分光镜
介绍用于金属介质宽波段消偏振分光镜,对膜系设计制备方法和结果作了简要的分析讨论。
沉积速率和氧分压对HfO2薄膜残余应力的影响
采用ZYGOMarkIII-GPI数字波面干涉仪对以K9玻璃为基底的电子束蒸发方法制备的HfO2薄膜中的残余应力进行了研究,讨论了沉积速率、氧分压这两种工艺参量对HfO2薄膜残余应力的影响.实验结果表明:在所有的工艺条件下,薄膜的残余应力均为张应力;随着沉积速率的升高,氧分压的减小,薄膜的堆积密度逐渐增大,而残余应力呈减小趋势.同时用X射线衍射技术测量分析了不同工艺条件下HfO2薄膜的晶体结构,探讨了HfO2薄膜晶体结构是否会对其应力造成影响.
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