设计了一种基于压电陶瓷的三维微定位系统,通过12个空间分布的压电陶瓷微驱动器及4个工作平台的配合,实现X、Y、Z向的精密位姿控制。阐述了微定位原理、建立了载物台位姿与压电陶瓷微驱动器伸缩量之间的关系,介绍了系统误差来源以及微定位装置的构造。该研究可望为一些高科技领域的微进给提供实用新技术。

介绍一种基于平面等倾干涉原理的机器视觉高精度平面度测量系统。它利用等倾干涉原理，通过CCD提取随平面度变化的明暗相交干涉圆环条纹信息，根据条纹中心不变性和中心对称性，以开始测量点适当级次条纹中心为参考条纹，间隔90°建立4个扇形窗口，对窗口内条纹信息处理，得到细化后条纹与参考条纹径向间距，参照前一测量点干涉条纹径向位置，得到干涉条纹在各测点的变化量N。该N值既能反映出半波长整数倍，又能反映半波长小数倍的测点高度差信息，利用最小二乘原理，处理N值，得到极高精度的平面度测量误差。

提出并研究了一种空间分布压电驱动的多自由度微定位新技术.采用多个压电驱动器的空间并列分布实现六自由度精密微定位.本文作者阐述了微定位原理,建立了载物台位姿与驱动器伸缩量之间的关系,介绍了微定位装置的构造.

提出一种基于微处理器S3C2410的氢气浓度监测系统设计方案。针对由传感器输出的微弱电流信号,设计了低噪声、高抗干扰的前端信号调理电路,并利用SPI实现了ADC与S3C2410的数据传输。为微处理器S3C2410移植嵌入式Linux操作系统搭建了软件操作平台,完成了监测系统的外围设备驱动程序、数据处理程序以及图形界面程序等软件设计。通过实验验证,该系统具有良好的实时性、稳定性和灵活性,达到了设计要求。