硬度综合反映了材料的弹性、塑性等一系列物理性能，是材料力学性能的一个重要参数。传统硬度测试技术在微纳米尺度已不再适用。本文介绍了微纳米尺度硬度的静态和动态测试机理，分析了纳米硬度计的测试特点，并对测量误差产生的可能原因做了说明。最后简要分析了微纳米硬度测试技术的发展趋势。

扫描探针显微镜（SPM）作为高精度显微工具的同时，还可以作为加工工具对样品表面进行刻蚀加工。扫描探针刻蚀加工技术（SPL）近年来发展迅速。本文综述了基于SPM的扫描探针机械刻蚀技术，并介绍了DPN技术的机理及最新研究进展。

基于原子力显微镜AFM（atomic force microscope）的纳米机械刻蚀加工是扫描探针刻蚀加工技术（scanning probe hthography，SPL）的一个重要组成，目前已取得较大进展。但由于纳米机械刻蚀涉及原子的结构与运动，其加工机理尚有待于进一步研究。分子动力学模拟技术是近年来发展的继实验和理论研究后的又一重要研究方法。文章综述采用分子动力学模拟技术，研究基于AFM的纳米机械刻蚀加工的进展，分析纳米尺度的加工机理，评述探针、刻蚀工艺、工件材料等因素对纳米机械加工过程的影响。文章最后指出今后研究的方向。

文章综述了扫描探针刻蚀技术的最新研究进展，并介绍了扫描探针刻蚀加工机理。

结合原子力显微镜实验及分子动力学模拟,研究刻蚀加工机理,分析了针尖弹性模量、几何形状、磨损等工具因素,刻蚀力、进给量、加工速度等工艺因素,加工材料性质、表面质量等工件因素对加工的影响及作用机理。