2018年我国轻型商用制冷产品全球市场占有率达6%,轻商全封活塞压缩机销量超过1千万台,市场份额超过70%。压缩机是制冷设备的主要动力源,消声器作为压缩机部件,气动性能研究至关重要。共振式消声器气流再生噪声与气流速度的关系,得出消声器气流再生噪声随进口流速的增大而增大。为降低压缩机气动噪声中进气端噪声,进行了吸气消声器内导流管声学研究,提出圆形导流管较方形导流管消声效果更佳。

本文论述了作为直接分步曝光机关键技术之一的自动调焦技术过程控制中,如何解决各种因素造成的调焦附加误差,获得了±400μm动态调焦范围、±0.13μm(3σ)的自动调焦精度。