介绍了一种新的锥面活塞环测量方法。该方法应用光电技术解决了测量中的关键问题。本文详述了测量原理、实验系统工作原理和测量不确定度评定。

精密孔径测量仪是一台以长光栅为标准，利用光电瞄准技术进行非接触绝对测量的高精度测长仪器；主要用于测量内孔直径，还可以用于测量轴径、两平行平面距离及玻璃尺刻线间距等。文中主要研究测量范围为（0～200） mm，分辨力为0.1μm的精密孔径测量仪的检定方法。