构建了一种可快速大面积测量光栅表面微结构的原子力显微镜（AFM）系统,研究了不同扫描模式下扫描速度对测量结果的影响。分别测量了微悬臂探针在恒高模式与恒力模式下的频谱,获得了这两种模式下微悬臂探针的有效带宽。基于恒高模式与恒力模式,在不同扫描速度下分别测量了光栅微结构表面上的一条直线与一个圆周,进而分析了扫描速度对测量结果的影响。基于该AFM系统,采用恒高模式下不失真扫描速度对光栅微结构表面进行了快速、大面积三维形貌测量实验。实验结果表明：测量光栅微结构表面上直径为4.0mm的圆形区域所用时间仅为40s。当扫描速度不超过微悬臂探针有效带宽所对应的速度时,所构建的AFM系统可无失真地实现微结构表面的快速、大面积测量。

拟用压电陶瓷执行器自感知位移，省去外部传感器．从基本压电方程出发，推导出压电陶瓷执行器晶片上自由电荷中包含的执行器位移信息，进而提出了一种基于积分器电路的压电陶瓷执行器位移自感知方法．对压电陶瓷叠堆执行器设计了电压驱动电路，同时设计了获取自由电荷的积分器电路．基于此复合电路，执行器在执行的同时，可以感知其自身的位移．该方法使得自感知电路的调节和感知信号的获取变得容易，克服了电桥法自感知电路阻抗不易匹配的不足．实验结果表明，在不同的驱动电压波形、不同的驱动电压频率下，基于积分器的压电陶瓷自感知执行器均能够很好地获取执行器的位移信号．

压电陶瓷执行器在较高电场的作用下将产生严重的非线性、迟滞和蠕变,从而大大降低了它的定位精度.从控制方式、驱动方式和控制算法上,分析、总结了国内外关于纳米定位中压电陶瓷执行器的各种控制方法,进而提出压电陶瓷执行器在静态或对频响要求不高的场合下,应采用电压驱动、电容传感器反馈并同优良控制算法相结合的控制方法;而在对频响要求较高的场合下,应采用电荷驱动、电容传感器反馈并同优良控制算法相结合的控制方法.

针对目前对ZQ250减速机外壳三组通孔的镗削加工效率低下的情况，自行设计一个主轴箱，可以高效加工三组通孔，从而提高了外壳的生产效率，为中小型减速机外壳加工生产企业提供了一种参考。