硅片多线切割机轴承箱组合密封设计
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简介
针对硅片多线切割机的工作特点,对轴承箱的密封问题进行了分析,并创造性地运用组合密封方案,有效地解决了硅片多线切割机轴承箱密封的难题。相关论文
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