直拉法单晶炉热屏提升机构的设计
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简介
对比了热系统中热屏有无在晶体生长中所带来的影响以及热屏具有可升降功能后所带来的有益效果;重点讲述了热屏提升机构的组成以及热屏提升机构的设计计算。相关论文
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