避免超硬nc-(Al(1-x)Tix)N/a-Si3N4纳米复合材料制成的(Al(1-x)Tix)N涂层的高温分解
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简介
大约单层薄的非晶态氮化硅的组织,是在nc-(Al(1-x)Tix)N/a-Si3N4超硬纳米复合涂层沉积过程中形成的,具有良好的结构与硬度。在温度低于1100℃时,能有效地避免fcc-(Al(1-x)Tix)亚稳溶液的分解和软化,形成富钛fcc(Ti(1-δ)Alδ)N纤锌矿型h-(A l N)。如果没有氮化硅涂层,(Al(1-x)Tix)N的软化和分解将会发生在800-900℃之间。相关论文
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