低温真空泵作为一种高比抽气速率和极洁净的高真空泵，在很多科研和工业加工方面的应用越来越广泛。一般低温真空泵大多以G—M制冷机作为冷源。本文针对G—M制冷机中的二级密封作用进行了实验研究，结果表明：当温度下降到80K以下区间，二级蓄热材料的热容发生转变，热容量变小，制冷量不足，从而影响到低温泵的极限制冷温度，二级密封的作用显著体现。

为解决高速电动机风磨损耗大,高速时转子所受机械应力大,滚动轴承发热严重等问题,提出了一种以气浮轴承为关键支承技术的超高速实心转子电动机结构,在高真空环境下计算其各部分损耗及瞬态热,通过有限元分析了电动机主要部分温度分布,结果表明:电动机转速1.0×105 r/min时,电枢绕组、励磁绕组、转子的最高温度在允许范围内,验证了高真空环境下以气浮轴承为支承技术的超高速实心转子电动机结构的可行性。