碧波液压网 欢迎你,游客。 登录 注册

红外微腔探测器中金属支撑柱的制备工艺研究

作者: 何熙 陈松岩 方辉 罗仲梓 谷丹丹 来源:厦门大学学报(自然科学版) 日期: 2023-06-16 人气:22
红外微腔探测器中金属支撑柱的制备工艺研究
基于一般正胶光刻工艺的剥离工艺,所需胶膜的厚度要大大超过剥离薄膜的厚度.这样在剥离线宽小、厚度大的微腔结构探测器的金属互连柱图形时就会存在光刻分辨率低、剥离难的问题.本文重点研究了基于AZ5214E光刻胶图像反转性能的剥离工艺,对图像反转光刻所特有的反转烘、掩模曝光、泛曝光工艺条件进行了详细的对比实验.结果表明:当反转烘温度为96-98℃,第一次掩模曝光时间和泛曝光时间分别为8.1 s、8.4 s时,可以得到较好的光刻图形.通过电子束蒸发Ti,成功剥离出高2.40μm、面积3.0μm×3.0μm的Ti微互连柱.此工艺的优点在于分辨率高,胶膜与剥离薄膜的厚度比接近1时,也能剥离出所要图形,可以用于制备MEMS微腔器件中的微互连柱.

端锚CFRP-混凝土黏结界面受剪性能试验研究

作者: 覃银辉 周朝阳 李恒通 来源:混凝土与水泥制品 日期: 2022-12-24 人气:116
端锚CFRP-混凝土黏结界面受剪性能试验研究
利用碳纤维布加固混凝土构件时,通常会发生碳纤维布与混凝土母材之间的剥离破坏,发生该种破坏时,碳纤维布的利用率很低。为了解决剥离问题,引入一种新型毫米级端锚系统,采用改进的对拉双剪试验对构件进行试验研究。通过试验发现,端锚的加入增加了碳纤维布的有效黏结长度,因此其剥离荷载有较大的提高;同时,端锚的加入改变了碳纤维布的破坏模式,带端锚系统的构件所有的破坏模式均为拉断,有力提高了碳纤维布的利用率。通过试验还发现,端锚的利用并不改变黏结长度内各点的受力性能,即端锚的加入并不影响胶体作用的发挥,胶体与端锚的作用是一个叠加的关系。

原油储罐二次密封剥离处理技术的研究与应用

作者: 刘月东 额尔顿 张越超 来源:设备管理与维修 日期: 2021-08-22 人气:117
原油储罐二次密封剥离处理技术的研究与应用
大型外浮顶原油储罐浮盘密封多采用一次密封和二次密封相结合的方式,而大型外浮顶储罐在长时间运行过程中,其二次密封均可能出现与罐壁剥离的情况。设计一种新型外浮顶储罐二次密封弹性补偿装置,使二次密封与罐壁紧密贴合,避免一、二次密封环形空间内可燃气体浓度进入爆炸极限范围,保障油罐运行安全。
    共1页/3条