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基于AFM的靶丸表面轮廓仪设计及其测量精度分析

作者: 赵学森 孙涛 马小军 高党忠 唐永建 董申 来源:纳米技术与精密工程 日期: 2023-11-10 人气:9
基于AFM的靶丸表面轮廓仪设计及其测量精度分析
基于商用原子力显微镜(AFM)建立了靶丸表面轮廓测量仪系统,并对该系统的精密回转轴系进行了结构设计.为了评价系统的测量不确定度,进行了气浮轴系回转精度测试,确定了回转轴系的误差曲线,其最小二乘圆度误差为48 nm;同时对安装回转轴系后AFM的测量噪声进行了测试,并通过结构改进使静态噪声幅值降为约10nm.应用这一系统进行了靶丸表面圆周迹线的测量实验,实验测量出该系统运转测量时噪声幅值约13 nm,综合测量误差约49.7 nm,此测量精度可以通过回转轴系的误差分离来进一步提高.

星载超光谱成像仪摆镜系统轴系的误差分析与设计

作者: 赵瑞萍 熊望娥 来源:机械设计与制造 日期: 2023-03-14 人气:5
星载超光谱成像仪摆镜系统轴系的误差分析与设计
摆镜系统轴系的精度会影响星载超光谱成像仪的成像质量。轴系设计时采用了向心推力球轴承来调整轴系的装配误差。分析了摆镜系统工作时影响轴系精度的几个误差源,包括零件的尺寸误差、同轴度误差、配合误差等,按照误差理论设计并计算了各误差值,得到轴系的径向晃动误差和角运动误差。对加工好的轴系进行精度检测,实验结果符合理论结果,验证了该摆镜系统的轴系结构设计的合理性和可靠性,为该类航天运动部件的轴系结构设计提供了参考依据。

用于相位衬度CT成像的大型精密转台轴系设计与分析

作者: 曾维俊 于广东 雷恒波 王钟周 孙海旋 来源:工程设计学报 日期: 2020-11-30 人气:113
用于相位衬度CT成像的大型精密转台轴系设计与分析
针对X射线相位衬度CT(computed tomography,计算机断层扫描)成像的高分辨率、高稳定性要求,设计了大型精密转台。转台采用焊接结构和密珠轴系支撑,具有质量轻、阻力小、回转精度高的特点。介绍了转台轴系的结构设计和工艺路线,根据成像视野区允许的运动误差对轴系精度指标进行了分解。通过静态分析、惯性释放分析和模态分析研究了转台的静、动态性能并验证了其结构刚度的合理性,结合精度分析对轴系关键部件的几何误差进行了分配,误差综合结果满足指标要求。最后,对转台样机的轴系精度进行了检测,结果表明各项指标满足相位衬度成像要求。焊接结构的轻量化设计和轴系精度分析方法对大型转台轴系的研发具有一定的借鉴意义。
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