静电拉伸薄膜反射镜是利用静电场库仑力作用使薄膜产生面形变化，生成所需的光学曲面。由于薄膜反射镜成形过程中力场与静电场的相互耦合作用非常复杂，使其到目前为止在面形控制的理论分析上仍未有定量的结果。首先以平板电容理论为基础，对薄膜成形静电力场进行了近似分析，然后根据半球模型求解了薄膜结构变形，最终得到了薄膜反射镜面形尺寸与静电压参数的函数关系。所得结论对静电拉伸薄膜的研究工作具有一定的指导意义。