介绍了一种基于MEMS技术的压电微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷（PDMS）作为泵膜，使用了一个主动阀和一个被动阀，并利用压电双晶片作为驱动部件。压电双晶片和PDMS泵膜的组合可以产生较大的泵腔体积改变和压缩比，显著降低了加工成本，并提高了成品率。对压电微泵的输出流量进行了测试，结果显示：电压、频率以及背压对流量均有显著影响。在100V，25Hz的方波驱动下，该压电微泵的最大输出流量为458μL／min，最大输出压力为6kPa。

当2片聚二甲基硅氧烷接触时，黏附阵列中每根绒毛通过侧面与另一层的一根或多根绒毛的侧面接触，形成可逆封装。根据Baney-Hui的弹性圆柱体接触模型，得到了单根绒毛黏附力表达式。接着分别讨论了黏阵列的单面和双面接触形态以及相应封装强度。结果表明，双面接触形态的封装强度更大，最后用模版法制造了黏附阵列。

聚二甲基硅氧烷(PDMS)气动微型泵由3个PDMS气动微阀构成,依靠3个微阀的蠕动作用实现输运液体的作用。PDMS气动微泵的关键制作工艺是液体通道的弧形化和PDMS层之间、PDMS层与玻璃基片之间的封接。实验证明AZ4620正性光刻胶所制作的阳模能形成剖面形状呈弧形的液体通道。采用等离子体氧化处理法封接技术实现了PDMS层之间、PDMS层与玻璃基片之间的封接,该工艺易操作,封接速度快,而且封接效果好。

研究了一种适用于微流体系统的新型无阀微泵．以单晶硅片为材料并采用微机电系统（MEMS）技术制备微泵的泵腔以及扩散口和喷口，选用弹性模量较小的聚二甲基硅氧烷（PDMS）作为泵膜，利用扁平振动马达作为驱动部件，研制出一个尺寸为12mm×12mm×6mm的无阀微泵．分别对微泵的振动频率和输出流量进行了测试，结果显示：驱动电压对微泵的频率和流量均有显著影响；当驱动电压在14～3．0V范围的时候，频率和电压成线性关系；流量随着背压的增加而减小，在零背压下，当电压为1．5V时，微泵的流量达到最大值158laL／min．

一种适用于微流体系统的无阀驱动器利用印刷电路板（PCB）制作腔体以及扩散口和喷口,利用聚二甲基硅氧烷（PDMS）作为振动膜,并利用压电双晶片作为驱动部件。该驱动器的制作工艺简单,使用寿命长,具有良好的液体驱动性能。对于使用15mm长的压电双晶片制作的驱动器,在100V、60Hz、占空比为1的方波驱动下,最大流速可达l50μL/min。