高真空光刻样品CCD显微观察装置
介绍了利用光场控制中性原子束制作微细图形的基本原理.针对具体的实验系统,设计并建立了一套用于高真空系统中原子光刻样品的CCD显微观察装置,该装置以CCD相机实时采样通过计算机自动图像处理直接显示和输出样品的微结构信息.与传统装置相比,该装置在实验初期摸索实验工艺参数方面具有非常重要的作用.
液压油污染度CCD显微检测系统
研制了一种新型液压油污染检测系统.采用柯拉远心光路照明原理使被测油液得到充分均匀照明.综合CCD光电显微成像和计算机数字图像处理技术运用最佳阈值分割和轮廓提取相结合的图像数据处理方法实现了污染颗粒图像边缘的精确检测.对实际液压油进行抽样实验其测试精度达到国际标准的要求.
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